石英坩埚的性能直接影响单晶硅的成晶率,当石英坩埚的表面产生失透时石英结晶片就会脱落,并黏着到单晶硅上从而降低单晶硅的成晶率。为了达到内表面高纯度化,我们使用高纯度石英砂原料,并且在严格的管理下进行高清洁环境下洗净。AQM-30是内表面使用了高纯度合成石英砂的石英坩埚,可以长时间使用。AQM-40石英坩埚采用了防止内表面石英失透片脱落的结晶化技术,也可以长时间使用。
我们的石英坩埚不易产生失透,并具有以下两个特点: 1)少气泡化 2)内表面纯化
本公司生产的石英坩埚,透明层中没有气泡,而且AQM-20系列产品,采用特殊的加工技术,使得该产品在使用过程中,可以抑制不透明层中的气泡膨胀。
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