石英坩埚的特性(主要介绍热学性能和结晶性能) 1. 热学性能: 热学性能主要体现在以下几个方面
石英坩埚的形变点为1075℃ 石英坩埚的软化点为1730℃ 其最高连续使用温度为1100℃,短时间内为1450℃。 2. 结晶性能 (1) 石英坩埚在高温下具有趋向变成二氧化硅的晶体(方石英)。这个过程称为再结晶,也称为“失透”,通常也称为“析晶”。 (2) 析晶通常发生在石英坩埚的表层,按照中国石英玻璃行业标准规定,半导体工业用石英玻璃在1400℃±5℃下保温6小时,其析晶层的平均厚度应为﹤100µm 。
版权所有@转载请注明:http://www.wxxscer.com/shownews.asp?id=95
|