用于连续单晶硅生长的石英坩埚及其制造方法和组合坩埚
直拉法生产单晶硅,必须使用石英坩埚。多晶硅石英坩埚~按生产的硅单晶的级别分类有电子级和太阳能级,而电子级又根据产品的类别对石英坩埚有不同的要求。多年来通过石英坩埚及硅材料厂家的相互配合与技持,石英坩埚的工艺技术、产品质量都得到了长足的进步,部份可以替代进口,而且批量出口,国产多晶硅石英坩埚在国际市场上争得一席之地。
多晶硅石英坩埚是半导体工业、电子信息产业、太阳能光伏电池产业的最主要、最基础的功能性材料。主要用做半导体的原料,是制做单晶硅的主要原料,可作各种晶体管、整流二极管、可控硅、太阳能电池、集成电路、电子计算机芯片以及红外探测器等。多晶硅石英坩埚是制备单晶硅的唯一原料和生产太阳能电池的原料。随着近几年我国单晶硅产量以年均26%的速度增长,多晶硅石英坩埚的需…
多晶硅石英坩埚的性能直接影响单晶硅的成晶率,当多晶硅石英坩埚的表面产生失透时石英结晶片就会脱落,并黏着到单晶硅上从而降低单晶硅的成晶率。要使多晶硅石英坩埚不易产生失透变形,必须具有以下两个特点:1)少气泡化2)内表面纯化
半导体级高纯多晶硅石英坩埚是拉制大直径单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只坩埚。单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,对坩埚的要求十分苛刻。一般国际上对多晶硅石英坩埚的要求:材质必须是高纯度半导体级;耐高温性强;坩埚的尺寸大;精度高;保温性能好;节约能源;产品质量一致性好;稳定性高等特点。多晶硅石英坩埚在使用时应注意两点:1.多晶硅石英坩埚…