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多晶硅石英坩埚在使用时应注意两点

发布时间:2021-11-21人气:1

半导体级高纯多晶硅石英坩埚是拉制大直径单晶硅的消耗性器皿,每生产一炉单晶硅就用掉一只坩埚。单晶硅是生产大规模集成电路的原材料,对坩埚的要求十分苛刻。一般国际上对多晶硅石英坩埚的要求:材质必须是高纯度半导体级;耐高温性强;坩埚的尺寸大;精度高;保温性能好;节约能源;产品质量一致性好;稳定性高等特点。多晶硅石英坩埚在使用时应注意两点:


1.多晶硅石英坩埚可在1700度以下灼烧,但灼烧温度高于1100度石英会变成不透明,因此熔融温度不应超过800度。

2、不能和HF接触,高温时,极易和苛性碱及碱金属的碳酸盐作用。


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