石英坩埚的检验工作是一个非常重要的环节。今天我们就为大家详细地介绍一下怎样才能做好石英坩埚的检验工作。
1.涂层英石英玻璃坩埚,其涂层厚度应不小于0.5㎜.
2.用真空法生产的电弧石英玻璃坩埚,其真空玻璃态厚度应不小于3㎜
3 外观
3.1 石英玻璃坩埚内外表面应清洁无沾污.
3.2 坩埚内外不允许有裂纹.
3.3 坩埚口端部不允许有切割毛刺崩边,口端部内倒角应﹥2㎜.
3.4外观质量指标 外观质量指标外观质量指标 外观质量指标
3.4.1划伤 坩埚底部不允许有划伤、触痕。
3.4.2 凹坑
a.不允许有无光泽的凹坑,底部连接弧度处不允许有凹坑.
b.有凹坑,但很光滑能满足壁厚要求,直径小于5㎜,不允许超过2只.
3.4.3杂质点
a.坩埚内表面上不允许有杂质点.
b.处有坩埚壁厚中用肉眼能够判断的杂质点的数量(只数)应不大于表2的规定. 3.4.4气泡
a. 坩埚内表面不允许有开放的气泡.
b. 坩埚内表面不允许因气泡造成凸出的点.
c. 距口边40㎜以外处在坩埚壁厚内的气泡数量(只数)应不大于表3规定
3.4.5 不允许有未熔融的原料份或杂质附着物存在即生料点。
3.4.6 铝、钙、铁、铜、钾、钠、锂、硼等13个杂质元素的总含量不大于5×10-5 其中该 8种杂质元素的含量应不大于下表的规定. 3.5检验原则
3.5.1 入厂检验
品质管理人员按5%比例逐抽检.注意戴好无尘手套、口罩..单晶车间操作 工在生产过程中逐只检验.
3.5.2 判定规则:各项外观质量指标达到规定指标要求则判该只坩埚为合格,当要求中任意 一项指标不合格时,则判该只坩埚为不合格.
管理员
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